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直線運動部品

半導体産業向けリニアモーションパーツ

半導体産業向けリニアモーションパーツ

半導体とは、室温での導電性が導体と絶縁体の間である材料を指します。半導体は、集積回路、民生用電子機器、通信システム、太陽光発電、照明用途、高出力電力変換などの分野で使用されています。当社のミニチュアボールねじは、重要な伝達部品として、半導体装置に広く使用されています。半導体装置では通常、高精度、高速、高信頼性の高度な動作制御が求められますが、当社の精密ボールねじはまさにこれらの要件を満たしています。その主な機能は、回転運動を直線運動に変換し、作業台や機械アームの位置を調整することです。

  • 注文数(最小注文数量) :

    100PCS
  • 支払い :

    TT
  • 製品の原産地 :

    CHINA
  • 出荷港 :

    SHANGHAI

技術的な利点:

当社のリニアモーション部品は、独自の研削工程と精密予圧技術を駆使し、±0.1μm/300mmの位置決め精度と最大±0.05μmの再現性を実現し、半導体装置の要求に完全に応えます。材料革新とプロセスの最適化により、業界標準の2倍以上の寿命を誇ります。高精度軸受鋼と特殊な熱処理工程により、コア部品のHRC62~64を実現しています。独自の表面処理技術により、軌道面粗さRa0.002μmを実現。特許取得済みの潤滑技術により、真空環境下でも安定した潤滑を維持します。

品質管理および認証システム:

Kezhen では、すべてのリニアモーション部品が最高水準を満たすことを保証するために、包括的な品質管理システムを確立しています。

材料管理: 原材料の調達から完成品まで、12 段階の品質検査を実施します。

プロセス制御: 当社ではドイツのクリンゲルンベルグ社製の精密測定機器とツァイス社製の座標測定機を活用しています。

最終検査: 100% の精度、ノイズ、および寿命のテストが実行されます。

認証システム: ISO 9001、ISO 14001、ISO 45001の認証を取得しています

以下は、半導体業界における当社のリニアモーション部品の代表的な用途です。

エッチング装置半導体製造プロセスにおいて、エッチングはチップ上の回路パターンをシリコンウェーハ表面に描画する重要な工程です。当社のリニアモーション部品は、エッチング装置におけるエッチングヘッドの上下動や左右揺動といった動作制御に利用され、チップパターンの高精度描画を実現します。

薄膜堆積装置半導体プロセスにおいて、薄膜堆積はシリコンウェーハの表面に様々な材料を堆積させる一般的なプロセスステップです。当社のリニアモーション部品は、薄膜堆積装置内の可動部品、例えばノズルの上下運動を制御するために使用できます。ノズルを左右に動かすことで、均一な堆積厚さを実現します。

清掃用具半導体製造プロセスにおいて、洗浄はワークピースの表面から不純物や汚染物質を除去するための一般的なプロセスステップです。当社のリニアモーション部品は、洗浄ノズルの上下運動やスプレー水流の制御など、洗浄装置における動作制御に使用され、洗浄効果と生産効率の向上を実現します。

検査機器半導体製造ラインにおいて、検査はチップの品質と性能を確認するための重要な工程です。当社のリニアモーション部品は、検査ヘッドの上下動や回転といった検査装置のモーション制御に使用され、正確な検出と位置決めを実現します。

Kezhen は、お客様のニーズを満たすリニアモーションパーツを提供してきた 20 年以上の経験を持つワンストップソリューションです。

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